TOYO纳米产品介绍

一、TOYO空气轴承XYZθ平台

TOYO空气轴承XYZθ平台适用于半导体和光罩检查机

有效行程可达500x500mm

平面度<5μm

重复精度<1μm

VC-C抑震等级

二、TOYO共面式空气轴承平台

TOYO共面式空气轴承平台适用于半导体产业和PCB印刷电路板，内含空气轴承平面，空气轴承与接触式的滚动轴承不同于运用一层压缩的空气薄膜，提供了一个无摩擦可承受负载的轴承接口

三、TOYO共面式空气轴承

TOYO共面式空气轴承适用于半导体、光罩检查机等设备，内嵌式空气轴承在高速度、高加速度运动的情况下，达到了运动零噪音，且无磨擦、零磨耗，拥有优良的运动精度(六个自由度)，同时较高的阻尼，有利于运动的稳定性，符合节能趋势，耗气量<20L/min

四、TOYO龙门XYZ线马平台

TOYO龙门XYZ线马平台适用于3C产业贴合设备

有效行程可达1000×700×40mm

XY最大速度1m/sec

Z最大速度0.2m/sec

重复精度± 2 μm

五、TOYO空气轴承龙门平台

TOYO空气轴承龙门平台适用于半导体和Micro LED AOI检查设备

XYZ行程400×400×50mm

重复精度<0.5μm

平面直线度<2μm

速度潋波100mm/sec<0.1%

龙门轴Yaw补偿结构

关于东佑达

       东佑达集团成立于2000年，我们凭借着“超越客户需求”的理念，用心投入自动化机器人相关领域的研发与创新，并快速获得广大客户的认同与采用。TOYO东佑达直线传动主要包括六大产品：滑台模组、电动缸、线性马达机械手、电动夹爪、桌上型机械手、无人搬运车。在与人们生活息息相关的各种制造里，都可以看到TOYO东佑达机械手技术活用的应用范例。包括IT产业、半导体、医药、食品、手机、汽车、航天等产业。因应您的需求,提供最适合的产品,更贴近您的生活。